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    真空系统

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    多工位真空储存柜

    产品特点

    • 该设备采用各工位独立控制方式，可实现独立充放气、氮气清洗真空度自主设定等功能，广泛应用于电子器件、光电器件、半导体芯片等器件生产过程产品暂存，防止氧化。

    应用领域

    电子器件、光电器件、半导体等
    • 技术指标
    • 尺寸
    • 产品特性
    • 配件
    • 下载
  • 抽真空模式，充入氮气量可设定，真空度可设定
    每个工位可独立控制，可单独抽气和放气。
  • 系统漏率
    <2×10E-3 Pa∙mE3/s
    极限真空度
    5×10E-5Pa
  • 工作真空度
    8×10E-3Pa
    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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