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超高真空排气台

产品特点

应用领域

应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃、x射线管、红外器件、行波管等光电子器件产品的制造。
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 工位处配置充N_2接口，使在卸下工件时能够充入N_2保护
    烘烤
    烘箱加热,烘烤温度可达到200℃且具有温度显示和可调功能
  • 无油污染
    采用无油机械泵与分子泵，避免油蒸汽对工作环境的污染
    极限真空度
    抽排的工件极限真空度〖10〗^(-8)Pa
  • 工位接口数量
    6-20工位
    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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